工业CT现有X射线断层扫描(XCT)、康普顿散射断层扫描(CST)、穆斯堡尔效应断层扫描(MCT)等。主要应用于工业在线过程的实时检测和大型工业部件的无损检测。工业CT与传统的X射线探伤机和工业电视相比,具有空间分辨率高、无损检测、速度快等特点,因而在工业产品的检测中具有其他方法无可取代的作用。在X射线实时成像设备方面,可用于在线检测热轧无缝钢管中的气孔、划痕、裂缝、分层等各种缺陷,同时给出钢管的壁厚、同心度、单位长度的重量等;亦可用于发电设备的实时检测。在大型部件检测方面,特别适用于火箭、核燃料元件、、飞机发动机等的无损检测。大型工业CT的主要技术指标大约为待测物体直径1—2.5米,有效扫描高度2—8米,大承重可达数十吨,空间分辨率为1线对/毫米,密度分辨率0.5%,裂纹分辨0.05毫米×15毫米,扫描时间每层3分钟,图像重建时间6秒,工作台平移空位精度0.02毫米,工作台旋转空位精度10角秒。所用的辐射装置可用X射线机、加速器,亦可用60Co、137Cs或192Ir的γ射线源。由于工业CT技术的发展,使用微焦点工业CT,并配备高级的CMOS平板探测器,可得到更好的信噪比和清晰度,因而可被用于电子半导体及电子元器件的检测和失效分析。
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